从相关部门的试验和研究结果来看，六氟化硫（SF6）气体的毒性主要源自以下五个方面：1. 不纯的SF6产品：在生产过程中，SF6气体可能含有高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。生产SF6气体的主要方法是将硫磺与过量的气态氟直接化合反应，生成SF6气体并放出热量（S + 3F2 → SF6 + Q）。合成的粗品中含有多种杂质，含量可达5%，包括硫氟化合物（如S2、F2、SF2、SF4、S2F10O）、硫氟氧化合物（如SOF2、SO2F2、SOF4、S2F10O）以及原料中带入的杂质（如HF、OF2、CF4、N2、O2等）。为了净化粗品中的杂质，合成后的SF6气体需要经过多个净化处理过程，包括水洗、碱洗、热解（去除剧毒的十氟化物）、干燥、吸附、冷冻和蒸馏提纯，才能得到纯度在99.8%以上的产品。然后，将产品压缩并充入降温至-80℃左右的钢瓶中，以液态存在。使用时减压放出，呈气态冲入电气设备中。除了合成过程中产生的杂质外，在气体的充装过程中还可能混入少量的空气、水分和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。因此，为了保证SF6产品的纯度和质量，国际电工委员会（IEC）和许多国家都制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验无毒证明书。2. 电器设备内SF6气体在高温电弧作用下产生的有毒产物：例如，SF6气体在电弧中的分解和与氧的反应：2SF6 + O2 → 2SOF2 + 8F（氟化亚硫酰）2SF6 + O2 → 2SOF4 + 4F（四氟化硫酰）SF6 → SF4 + 2F（四氟化硫酰）SF6 → S + 6F（硫）2SOF4 + O2 → 2SO2F2 + 4F（氟化硫酰）3. 电器设备内SF6气体分解物与水分发生的化学反应产生的有毒产物：例如：SF4 + H2O → SOF2 + 2HF（氢氟酸）SOF4 + H2O → SO2F2 + 2HF（氢氟酸）SOF2 + H2O → SO2 + 2HF（二氧化硫）SO2F2 + 2H2O → H2SO4 + 2HF（硫酸）4. 电器设备内SF6气体及分解物与电极（Cu-W合金）及金属材料（AL、Cu）反应产生的有毒产物：例如：3SF6 + W → WF6（气态）+ 3SF43SOF2 + AL → ALF3（固态粉末）3SOF2 + AL2O3 → 2ALF3（固态粉末）+ 3SO2SF6 + Cu → CuF2（固态粉末）+ SF64SF6 + W + Cu → 2S2F2（气态）+ 3WF6（气态）+ CuF2（固态粉末）5. 电器设备内SF6气体及分解物与绝缘材料反应产生的有毒产物：例如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或与石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。
