煺火（退火）是一种热处理工艺，指将材料加热到一定温度后冷却，以改变其微观结构，进而调整如硬度、强度等机械性能 。该工艺广泛应用于半导体制造领域。现代煺火技术主要包括高温炉管退火、快速热退火（RTA）、闪光退火及激光尖峰退火（LSA）等类型 。其中，闪速退火是一种新工艺，其升降温速率可达每秒1000°C 。在半导体制造中，激光退火可用于形成超浅结、制备欧姆接触等 。
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煺火
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